Integrated circuits metrology - May 4-5, 1982, Arlington, Virginia
- Författare
- Förenta staterna Diana Nyyssonen
- (Diana Nyyssonen, chairman/ed. coop. organization: National bureau of standards.)
- Genre
- Konferenser, Konferenspublikation, Ej skönlitteratur
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| SPIE | cop. 1982 | USA, Bellingham, Wash | 132 sidor. diagr., ill., tab. |